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A interação do feixe de elétrons com a amostra origina uma série de fenômenos físicos, os quais podem ser medidos por vários detectores. Entre eles, os mais comuns detectam elétrons

  • A. transmitidos, que indicam a composição da amostra, e elétrons espalhados, que fornecem informações quanto à topografia da amostra.
  • B. transmitidos, que fornecem detalhes do interior da amostra, e elétrons retroespalhados, que indicam a morfologia da amostra.
  • C. primários, que fornecem dados quanto à superfície da amostra, e elétrons secundários, que permitem identificar a composição e topografia da amostra.
  • D. secundários, que fornecem informações quanto à superfície da amostra, e elétrons retroespalhados, que fornecem informações quanto à composição e topografia da amostra.
  • E. livres, que fornecem informações quanto à morfologia da amostra, e elétrons de camadas mais internas, que indicam a composição da amostra.