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Q700524
Teclas de Atalhos
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Quanto aos reatores de deposição química de vapor melhorada por plasma (PECVD), é correto afirmar que
A
as frequências utilizadas estão na faixa dos raios-X e as pressões acima de 0,1 atm.
B
as frequências utilizadas estão na faixa da radiofrequência e das micro-ondas e as pressões são de até 0,01 atm.
C
as frequências utilizadas estão na faixa do ultravioleta e as pressões acima de 0,1 atm.
D
as frequências utilizadas estão na faixa dos raios-X e as pressões são de até 0,01 atm.
E
as frequências estão na faixa da radiofrequência e das micro-ondas e as pressões devem ser maiores que 0,1 atm.