Avalie as assertivas a seguir sobre estruturas de teste para avaliação de processos de fabricação de circuitos integrados:
I) Um exemplo de estrutura de inspeção visual é o conjunto de linhas.
II) Para realização de testes com conjunto de linhas, são colocadas linhas nas direções x e y do wafer a ser testado.
III) Os conjuntos de linhas podem ser feitos de forma que o período seja constante, mas a largura da linha seja diminuída; o
período seja constante, mas a distância entre linhas seja diminuída; ou tanto linha quanto distância entre linhas são
diminuídas alterando assim a periodicidade das linhas.
Estão corretas as assertivas: