Para o estudo de conformidade e morfologia de filmes finos, a microscopia eletrônica de varredura pode ser utilizada para
A
obter a densidade areal.
B
obter informações da composição C (Configuração do material como uma função da profundidade imediatamente abaixo
da superfície, geralmente alguns micrômetros).
C
determinar a distribuição das impurezas em filmes finos como função da profundidade.