A evolução das tecnologias VLSI em direção às estruturas de dimensões nanoscópicas dema...

A evolução das tecnologias VLSI em direção às estruturas de dimensões nanoscópicas demanda novos desenvolvimentos nos procedimentos de corrosão e deposição de materiais. No que se refere aos processos de transferência de padrões, o estágio atual da tecnologia já satisfaz às projeções da indústria.

C
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