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Por que devemos realizar etapa de recozimento térmico após uma etapa de implantação de ...

Por que devemos realizar etapa de recozimento térmico após uma etapa de implantação de íons na obtenção de uma junção?

1 – Para corrigir os defeitos causados pela implantação de íons.

2 - Para a ativação elétrica dos dopantes implantados.

3 - Para oxidar a lâmina.

4 - Para definir a profundidade e o perfil de dopagem.

Está (ão) correta (s) apenas a (s) afirmativa (s):
A
1 e 2.
B
2 e 3.
C
2, 3 e 4.
D
1, 2 e 3.
E
1, 3 e 4.