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Q700351
Teclas de Atalhos
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Quais as principais vantagens de plasmas de alta densidade tipo ICP (acoplamento indutivo) em comparação com plasmas
com acoplamento capacitivo, para processos de corrosão?
A
Maior aquecimento de amostras durante a corrosão.
B
Controle independente de densidade do plasma e da autopolarização (self-bias).
C
Taxas de corrosão mais altas.
D
Danos em materiais menores.
E
Pressão de gás menor.