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Qual a finalidade da fase do processo RIE chamada breakthrough?

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Q700357
Teclas de Atalhos
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Ano: 2012
Banca: FUNRIO Fundação de Apoio a Pesquisa, Ensino e Assistência - FUNRIO
Prova: FUNRIO - CEITEC - Analista Administrativo - Área Engenharia Elétrica - 2012
Qual a finalidade da fase do processo RIE chamada breakthrough?
A
Corrosão da camada de oxido nativo.
B
Corrosão do filme de Si.
C
Remoção de fotorresiste.
D
Limpeza da amostra.
E
Remoção de silício sobrando depois da corrosão.