Para aumentar a anisotropia de corrosão por plasma RIE, é necessário:

Para aumentar a anisotropia de corrosão por plasma RIE, é necessário:
A
Diminuir a potência e aumentar a pressão de gás.
B
Aumentar a frequência de gerador.
C
Diminuir a frequência de gerador.
D
Aumentar potência e diminuir a pressão de gás.
E
Aumentar potência e aumentar a pressão de gás.