Engenharia Elétrica e Engenharia Eletrônica Ciências dos Materiais

Qual o intervalo típico de energia de íons em processo RIE?
  • A. 1-10 eV.
  • B. 10-100 eV.
  • C. 100-1000 eV.
  • D. 1-100 eV.
  • E. 1 – 1000 eV.