Em três lâminas de Si iguais foram implantados os ions de 11B+, na primeira, 31P+, na s...

Em três lâminas de Si iguais foram implantados os ions de 11B+, na primeira, 31P+, na segunda e 75As+, na terceira. Qual implantação de íons destruirá mais a rede cristalina em sua respectiva lâmina de Si. Nota: todas as implantações foram executadas com a mesma energia e dose, e em temperatura ambiente.
A
As três implantações destruirão por igual a rede cristalina do Si.
B
A implantação de íons de 31P+
C
A implantação de íons de 11B+
D
A implantação de íons de 75As+
E
As implantações de 75As+ e 11B+ destruirão por igual a rede cristalina do Si, e a de 31P+ destruirá mais.