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Qual deve ser o ambiente interno no implantador de íons para executar o processo?

Qual deve ser o ambiente interno no implantador de íons para executar o processo?
A
Ambiente inerte com gás nitrogênio.
B
Ambiente em vácuo com pressão em torno de 1 mTorr.
C
Ambiente em vácuo em pressão atmosférica.
D
Ambiente inerte com gás argônio.
E
Ambiente em vácuo com pressão menor que 10-6 Torr.