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Que parte do sistema de implantação de íons faz a contagem de íons que penetram na lâmi...

Que parte do sistema de implantação de íons faz a contagem de íons que penetram na lâmina e determina o final do processo?
A
Gaiola de Faraday com circuito integrador.
B
Fonte de íons.
C
Analisador Magnético.
D
Gaiola de Lorentz.
E
Fonte de átomos.