Engenharia Elétrica e Engenharia Eletrônica Conceitos Básicos

A seguir, são apresentadas algumas vantagens de diferentes processos de deposição química a partir de vapor.

I – Reator simples.

II – Altas taxas de deposição.

III – Excelente pureza e uniformidade.

IV – Baixa temperatura.

Assinale a alternativa que apresenta a(s) vantagem(ns) da deposição química a partir de vapor em baixa pressão.
  • A. Apenas I.
  • B. Apenas I e II.
  • C. Apenas III.
  • D. Apenas II e III.
  • E. Apenas III e IV.