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Quais das alternativas a seguir apresenta as etapas sequenciais do método padrão RCA pa...

Quais das alternativas a seguir apresenta as etapas sequenciais do método padrão RCA para limpeza de lâminas de Si?
A
1ª etapa com solução:NH4OH:H2O, enxague em H2O; 2ª etapa com solução: HCl:H2O, enxague em H2O.
B
1ª etapa com solução: HCl:H2O2:H2O, enxague em H2O; 2ª etapa com solução: NH4OH:H2O2:H2O, enxague em H2O.
C
1ª etapa com solução:NH4OH:H2O2:H2O, enxague em H2O; 2ª etapa com solução: HCl:H2O2:H2O, enxague em H2O.
D
1ª etapa com solução: HCl:H2O, enxague em H2O; 2ª etapa com solução: NH4OH:H2O, enxague em H2O.
E
1ª etapa com solução:NH4OH:H2O, enxague em H2O; 2ª etapa com solução: H2O2:H2O, enxague em H2O.