Engenharia Elétrica e Engenharia Eletrônica Eletrônica Eletrônica digital Dispositivos de Lógica Programável (PLD)

Quais das alternativas a seguir apresenta as etapas sequenciais do método padrão RCA para limpeza de lâminas de Si?
  • A. 1ª etapa com solução:NH4OH:H2O, enxague em H2O; 2ª etapa com solução: HCl:H2O, enxague em H2O.
  • B. 1ª etapa com solução: HCl:H2O2:H2O, enxague em H2O; 2ª etapa com solução: NH4OH:H2O2:H2O, enxague em H2O.
  • C. 1ª etapa com solução:NH4OH:H2O2:H2O, enxague em H2O; 2ª etapa com solução: HCl:H2O2:H2O, enxague em H2O.
  • D. 1ª etapa com solução: HCl:H2O, enxague em H2O; 2ª etapa com solução: NH4OH:H2O, enxague em H2O.
  • E. 1ª etapa com solução:NH4OH:H2O, enxague em H2O; 2ª etapa com solução: H2O2:H2O, enxague em H2O.