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Qual o intervalo típico da pressão de gases utilizados para...

Qual o intervalo típico da pressão de gases utilizados para corrosão tipo RIE?

A
1-10 Torr.

B
0,1-10 mTorr.

C
10-100 mTorr.

D
100-760 Torr.

E
1- 10 Torr.