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Q700247
Teclas de Atalhos
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Quais são os mecanismos de crescimento de óxido de Si sobre substrato de Si no processo de oxidação térmica?
A
Mecanismo de difusão da espécie oxidante através do óxido de Si já crescido sobre o substrato de Si e mecanismo de
recozimento da espécie oxidante com o Si, quando a espécie consegue alcançar a superfície do substrato de Si.
B
Mecanismo de difusão da espécie oxidante através do óxido de Si já crescido sobre o substrato de Si e mecanismo de
reação da espécie oxidante com o Si, quando a espécie consegue alcançar a superfície do substrato.
C
Somente mecanismo de implantação da espécie oxidante através do óxido de Si já crescido sobre o substrato de Si.
D
Somente mecanismo de reação da espécie oxidante com o Si, quando a espécie consegue alcançar a superfície do
substrato de Si.
E
Mecanismo de implantação da espécie oxidante através do óxido de Si já crescido sobre o substrato de Si e mecanismo
de recozimento da espécie oxidante com o Si, quando a espécie consegue alcançar a superfície do substrato de Si.