Engenharia Elétrica e Engenharia Eletrônica Ciências dos Materiais

Que filmes são depositados por LPCVD (deposição química a partir da fase vapor executada em baixa pressão)?

1 -W e SiO2.

2 - SiO2 e Si3N4.

3 - Si3N4 e silício policristalino.

4 - Si3N4, SiO2 e silício policristalino.

  • A. Apenas 2 e 3.
  • B. Apenas 3 e 4.
  • C. Apenas 1, 2 e 3.
  • D. Apenas 2, 3 e 4.
  • E. 1, 2, 3, e 4.