Que filmes são depositados por LPCVD (deposição química a...

Q700252

Que filmes são depositados por LPCVD (deposição química a partir da fase vapor executada em baixa pressão)?

1 -W e SiO₂.

2 - SiO₂ e Si₃N₄.

3 - Si₃N₄ e silício policristalino.

4 - Si₃N₄, SiO₂ e silício policristalino.

Apenas 2 e 3.

Apenas 3 e 4.

Apenas 1, 2 e 3.

Apenas 2, 3 e 4.

1, 2, 3, e 4.

Que filmes são depositados por LPCVD (deposição química a partir da fase vapor executad...