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Q700255
Teclas de Atalhos
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Qual a técnica utilizada para medir a espessura e o índice de refração de filmes de óxido de Si, de nitreto de Si e de silício
policristalino, usados na tecnologia CMOS?
A
Microscopia eletrônica de transmissão (TEM).
B
Microscopia eletrônica de varredura (SEM).
C
Microscopia de força atômica (AFM).
D
Elipsometria.
E
Perfilometria.