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Qual principal vantagem dos plasmas RF em comparação com plasmas DC?

Qual principal vantagem dos plasmas RF em comparação com plasmas DC?

A
Facilidade de usar as fontes RF.

B
Material a ser corroído pode ser isolante.

C
Maior aquecimento de amostras.

D
Controle maior do processo.

E
Menor pressão de gás.