Engenharia Elétrica e Engenharia Eletrônica Ciências dos Materiais

Qual principal vantagem dos plasmas RF em comparação com plasmas DC?
  • A. Facilidade de usar as fontes RF.
  • B. Material a ser corroído pode ser isolante.
  • C. Maior aquecimento de amostras.
  • D. Controle maior do processo.
  • E. Menor pressão de gás.