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A remoção de fotorresiste por plasma (Ashing) é realizada utilizando descarga em quais ...

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Q700352
Teclas de Atalhos
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Ano: 2012
Banca: FUNRIO Fundação de Apoio a Pesquisa, Ensino e Assistência - FUNRIO
Prova: FUNRIO - CEITEC - Analista Administrativo - Área Engenharia Elétrica - 2012
A remoção de fotorresiste por plasma (Ashing) é realizada utilizando descarga em quais gases?
A
Cl2
B
SF6
C
CF4
D
O2
E
N2