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Qual o intervalo típico da pressão de gases utilizados para corrosão tipo RIE?

Qual o intervalo típico da pressão de gases utilizados para corrosão tipo RIE?
A
1-10 Torr.
B
0,1-10 mTorr.
C
10-100 mTorr.
D
100-760 Torr.
E
1- 10 Torr.