Engenharia Elétrica e Engenharia Eletrônica Ciências dos Materiais

Para a execução de uma implantação de íons, os seguintes parâmetros de processo devem ser selecionados:
  • A. Corrente elétrica e Campo Elétrico.
  • B. Energia e dose do feixe de íons, massa do íon e ângulos de inclinação e rotação da amostra.
  • C. Energia e dose do feixe de elétrons, massa do elétron e ângulo de inclinação da amostra.
  • D. Corrente e dose do feixe de íons, massa do elétron e sem ângulo de inclinação da amostra.
  • E. Corrente e dose do feixe de elétrons, massa do íon e sem ângulo de inclinação da amostra.