Engenharia Elétrica e Engenharia Eletrônica Ciências dos Materiais

Em três lâminas de Si iguais foram implantados os íons de 11B+, na primeira, 31P+, na segunda e 75As+, na terceira. Qual íon penetrará menos em sua respectiva lâmina de Si, ou seja, apresentará a menor profundidade no Si? Nota: todas as implantações foram executadas com as mesmas condições de energia, dose e ângulos de inclinação e rotação.
  • A. 75As+
  • B. 31P+
  • C. 11B+
  • D. Os três íons penetrarão com a mesma profundidade no Si
  • E. Os íons de 75As+ e 11B+ penetrarão com a mesma profundidade no Si