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Qual processo deve ser executado para corrigir os danos causados pela implantação de ío...

Qual processo deve ser executado para corrigir os danos causados pela implantação de íons em lâmina de Si?
A
Oxidação térmica seca.
B
Recozimento térmico em ambiente inerte.
C
Deposição a partir da fase vapor.
D
Oxidação térmica úmida.
E
Tratamento térmico em ambiente de oxigênio.