Engenharia Elétrica e Engenharia Eletrônica Ciências dos Materiais

Qual processo deve ser executado para corrigir os danos causados pela implantação de íons em lâmina de Si?
  • A. Oxidação térmica seca.
  • B. Recozimento térmico em ambiente inerte.
  • C. Deposição a partir da fase vapor.
  • D. Oxidação térmica úmida.
  • E. Tratamento térmico em ambiente de oxigênio.