Engenharia Elétrica e Engenharia Eletrônica Ciências dos Materiais

Executando-se a espectroscopia de massa do íon secundário (SIMS) de uma estrutura implantada, consegue-se obter
  • A. o perfil de implantação na lâmina.
  • B. a oxidação da lâmina.
  • C. a deposição de um filme fino sobre a lâmina.
  • D. a limpeza da lâmina.
  • E. os defeitos na lâmina.