Imagem de fundo

Executando-se a espectroscopia de massa do íon secundário...

Executando-se a espectroscopia de massa do íon secundário (SIMS) de uma estrutura implantada, consegue-se obter

A
o perfil de implantação na lâmina.

B
a oxidação da lâmina.

C
a deposição de um filme fino sobre a lâmina.

D
a limpeza da lâmina.

E
os defeitos na lâmina.