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Executando-se a espectroscopia de massa do íon secundário (SIMS) de uma estrutura impla...

Executando-se a espectroscopia de massa do íon secundário (SIMS) de uma estrutura implantada, consegue-se obter
A
o perfil de implantação na lâmina.
B
a oxidação da lâmina.
C
a deposição de um filme fino sobre a lâmina.
D
a limpeza da lâmina.
E
os defeitos na lâmina.