Engenharia Elétrica e Engenharia Eletrônica Ciências dos Materiais

Para evitar ou reduzir o efeito de canalização de íons numa lâmina de Si com orientação cristalina (100) durante a implantação de íons, a lâmina deve ser posicionada no implantador com inclinação e rotação?
  • A. Não, somente com inclinação.
  • B. Sim, com rotação e inclinação da lâmina.
  • C. Não, pois a lâmina de Si tem estrutura amorfa.
  • D. Não, pois com a lâmina de Si com orientação cristalina (100) não ocorre o efeito de canalização.
  • E. Sim, mas não precisa da inclinação.