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Q700459
Teclas de Atalhos
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Para evitar ou reduzir o efeito de canalização de íons numa lâmina de Si com orientação cristalina (100) durante a
implantação de íons, a lâmina deve ser posicionada no implantador com inclinação e rotação?
A
Não, somente com inclinação.
B
Sim, com rotação e inclinação da lâmina.
C
Não, pois a lâmina de Si tem estrutura amorfa.
D
Não, pois com a lâmina de Si com orientação cristalina (100) não ocorre o efeito de canalização.
E
Sim, mas não precisa da inclinação.