Engenharia Elétrica e Engenharia Eletrônica Ciências dos Materiais

Leia atentamente as afirmativas abaixo:

I – O modelo de Deal e Grove se aplica à oxidação do silício nos estágios iniciais.

II – Pelo modelo de Deal e Grove, a oxidação ocorre após a difusão da espécie oxidante pelo óxido de silício até a interface do óxido de silício com o silício (interface Si/SiO2), em que ocorre a reação de oxidação do silício.

III – O modelo de Deal e Grove aplica-se apenas à oxidação úmida.

IV – O modelo de Deal e Grove se aplica ao crescimento de óxido de silício no silício para espessuras do óxido de silício, a partir de 300 ângstrons.

Assinale a alternativa com as afirmativas corretas.
  • A. Apenas I e IV são verdadeiras.
  • B. Apenas II e III são verdadeiras.
  • C. Apenas III e IV são verdadeiras.
  • D. Apenas II e IV são verdadeiras.
  • E. Apenas II, III e IV são verdadeiras.