Leia atentamente as afirmativas abaixo:
I – O modelo de Deal e Grove se aplica à oxidação do silício nos estágios iniciais.
II – Pelo modelo de Deal e Grove, a oxidação ocorre após a difusão da espécie oxidante pelo óxido de silício até a interface
do óxido de silício com o silício (interface Si/SiO2), em que ocorre a reação de oxidação do silício.
III – O modelo de Deal e Grove aplica-se apenas à oxidação úmida.
IV – O modelo de Deal e Grove se aplica ao crescimento de óxido de silício no silício para espessuras do óxido de silício, a
partir de 300 ângstrons.
Assinale a alternativa com as afirmativas corretas.