Analise as afirmativas abaixo:
I – Durante os estágios iniciais da oxidação, a concentração de dopantes não tem influência na taxa de crescimento do óxido.
II – Em óxido com grande concentração de dopante, a taxa de crescimento durante o estágio da oxidação controlado por
difusão depende fortemente da concentração de impurezas no óxido de silício (SiO2).
III – A migração de dopante para o óxido enfraquece as ligações no óxido, o que facilita a difusão de oxigênio (O2) e água
(H2O), aumentando a taxa de crescimento do óxido.
A(s) afirmativa(s) correta(s) é (são)