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O óxido depositado por spin-on, também conhecido como SOG, é amplamente utilizado porqu...

O óxido depositado por spin-on, também conhecido como SOG, é amplamente utilizado porque

I – apresenta propriedades dielétricas superiores ao dióxido de silício.

II – pode ser obtido em baixas temperaturas.

III – possui ótima aderência ao substrato de silício.

Com relação às propriedades mencionadas acima, assinale a alternativa com a(s) propriedade(s) verdadeira(s) do SOG.
A
Apenas I é verdadeira.
B
Apenas II é verdadeira.
C
Apenas III é verdadeira.
D
Apenas II e III são verdadeiras.
E
I, II e III são verdadeiras.