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Comparando-se os danos (defeitos) produzidos na camada superficial de material durante ...

Comparando-se os danos (defeitos) produzidos na camada superficial de material durante corrosão RIE convencional (acoplamento capacitivo) e ICP, observa-se o seguinte:
A
Danos menores durante ICP.
B
Danos menores durante RIE.
C
Depende da temperatura do processo.
D
Depende da temperatura do gás.
E
Depende do tamanho da lamina.