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Q700357

Engenharia Elétrica e Engenharia Eletrônica Ciências dos Materiais

Banca: FUNRIO Fundação de Apoio a Pesquisa, Ensino e Assistência - FUNRIO

Prova: FUNRIO - CEITEC - Analista Administrativo - Área Engenharia Elétrica - 2012

Qual a finalidade da fase do processo RIE chamada breakthrough?

A

Corrosão da camada de oxido nativo.

B

Corrosão do filme de Si.

C

Remoção de fotorresiste.

D

Limpeza da amostra.

E

Remoção de silício sobrando depois da corrosão.

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