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Na corrosão tipo RIE (reactive ion etching), o efeito...

Na corrosão tipo RIE (reactive ion etching), o efeito sinergético aparece por causa de interação de que fatores?

A
Alta temperatura dos elétrons e dos íons.

B
Alta energia de íons e o aquecimento da amostra.

C
Alta energia de íons e o aquecimento do eletrodo.

D
Bombardeamento iônico e amorfização do material por radicais reativos.

E
Irradiação da amostra por fótons UV e bombardeamento iônico.