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Para aumentar a anisotropia de corrosão por plasma RIE, é...

Para aumentar a anisotropia de corrosão por plasma RIE, é necessário:

A
Diminuir a potência e aumentar a pressão de gás.

B
Aumentar a frequência de gerador.

C
Diminuir a frequência de gerador.

D
Aumentar potência e diminuir a pressão de gás.

E
Aumentar potência e aumentar a pressão de gás.