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Em processo RIE, com aumento da potência de gerador:
1
Q700364
Teclas de Atalhos
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Em processo RIE, com aumento da potência de gerador:
A
Aumenta a seletividade e taxa de corrosão.
B
Aumenta a anisotropia e a taxa de corrosão.
C
Melhora a seletividade de corrosão.
D
Diminui a taxa de corrosão.
E
Diminui a temperatura da amostra.