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Qual processo deve ser executado para corrigir os danos...

Qual processo deve ser executado para corrigir os danos causados pela implantação de íons em lâmina de Si?

A
Oxidação térmica seca.

B
Recozimento térmico em ambiente inerte.

C
Deposição a partir da fase vapor.

D
Oxidação térmica úmida.

E
Tratamento térmico em ambiente de oxigênio.