Qual deve ser o ambiente interno no implantador de íons...

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Q700452

Engenharia Elétrica e Engenharia Eletrônica Ciências dos Materiais

Banca: FUNRIO Fundação de Apoio a Pesquisa, Ensino e Assistência - FUNRIO

Prova: FUNRIO - CEITEC - Analista Operacional - Área Materiais - 2012

Qual deve ser o ambiente interno no implantador de íons para executar o processo?

A

Ambiente inerte com gás nitrogênio.

B

Ambiente em vácuo com pressão em torno de 1 mTorr.

C

Ambiente em vácuo em pressão atmosférica.

D

Ambiente inerte com gás argônio.

E

Ambiente em vácuo com pressão menor que 10^-6 Torr.

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