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Que parte do sistema de implantação de íons faz a contagem...

Que parte do sistema de implantação de íons faz a contagem de íons que penetram na lâmina e determina o final do processo?

A
Gaiola de Faraday com circuito integrador.

B
Fonte de íons.

C
Analisador Magnético.

D
Gaiola de Lorentz.

E
Fonte de átomos.