Considerando as duas principais aplicações dos silicetos - porta em transistores MOS e como metal de contato sobre as
regiões de fonte e dreno desses transistores - a escolha do siliceto para estas utilizações requer a observação do seguinte
requisito:
A
máxima penetração na junção.
B
alta resistividade.
C
alta rugosidade.
D
existência de processo de corrosão seletiva do metal evaporado em relação ao siliceto.
E
Reação ao SiO2 durante as temperaturas de silicetação.