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Considerando as duas principais aplicações dos silicetos -...

Considerando as duas principais aplicações dos silicetos - porta em transistores MOS e como metal de contato sobre as regiões de fonte e dreno desses transistores - a escolha do siliceto para estas utilizações requer a observação do seguinte requisito:

A
máxima penetração na junção.

B
alta resistividade.

C
alta rugosidade.

D
existência de processo de corrosão seletiva do metal evaporado em relação ao siliceto.

E
Reação ao SiO2 durante as temperaturas de silicetação.