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Q700103
Teclas de Atalhos
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O processo de fotolitografia é essencial para a fabricação de circuitos integrados. No escopo da fotolitografia qual das
afirmativas abaixo é a correta?
A
Utiliza-se um material polimérico denominado eletroresiste para a transferência de um padrão geométrico para o chip.
B
Consegue-se uma definição lateral menor de um padrão geométrico com um comprimento de onda maior do feixe de luz.
C
Consegue-se obter dimensões laterais menores do padrão geométrico através de imersão em solução líquida.
D
Fotolitografia de contato é o método que permite a maior repetibilidade na produção de chips.
E
A melhor resolução fotolitográfica é obtida quando se utiliza uma lente de projeção com superfície esférica.