Assinale a alternativa que contém somente processos que retirem o fotorresiste.
A
Limpeza piranha (solução H2SO4/H2O2) e processo com plasma de oxigênio.
B
Limpeza RCA e corrosão com HCl.
C
Limpeza piranha (solução H2SO4/H2O2) e limpeza RCA.
D
Processo com plasma de oxigênio e limpeza RCA.
E
Limpeza piranha (solução H2SO4/H2O2) e corrosão com solução de HCl.