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Assinale a alternativa que contém somente processos que retirem o fotorresiste.

Ano: 2012
Banca: FUNRIO Fundação de Apoio a Pesquisa, Ensino e Assistência - FUNRIO
Prova: FUNRIO - CEITEC - Analista Administrativo - Área Engenharia Elétrica - 2012
Assinale a alternativa que contém somente processos que retirem o fotorresiste.
A
Limpeza piranha (solução H2SO4/H2O2) e processo com plasma de oxigênio.
B
Limpeza RCA e corrosão com HCl.
C
Limpeza piranha (solução H2SO4/H2O2) e limpeza RCA.
D
Processo com plasma de oxigênio e limpeza RCA.
E
Limpeza piranha (solução H2SO4/H2O2) e corrosão com solução de HCl.