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Maior seletividade em processos de corrosão de SiO2 em comparação com Si, é obtida com ...

Ano: 2012
Banca: FUNRIO Fundação de Apoio a Pesquisa, Ensino e Assistência - FUNRIO
Prova: FUNRIO - CEITEC - Analista Administrativo - Área Engenharia Elétrica - 2012
Maior seletividade em processos de corrosão de SiO2 em comparação com Si, é obtida com misturas de gases incluindo:
A
O2 e SF6
B
Cl2 e H2
C
Cl2 e Ar
D
CF4 e H2
E
SF6 e H2