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Qual o intervalo típico de energia de íons em processo RIE?

Ano: 2012
Banca: FUNRIO Fundação de Apoio a Pesquisa, Ensino e Assistência - FUNRIO
Prova: FUNRIO - CEITEC - Analista Administrativo - Área Engenharia Elétrica - 2012
Qual o intervalo típico de energia de íons em processo RIE?
A
1-10 eV.
B
10-100 eV.
C
100-1000 eV.
D
1-100 eV.
E
1 – 1000 eV.