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Q700443
Teclas de Atalhos
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Para a execução de uma implantação de íons, os seguintes parâmetros de processo devem ser selecionados:
A
Corrente elétrica e Campo Elétrico.
B
Energia e dose do feixe de íons, massa do íon e ângulos de inclinação e rotação da amostra.
C
Energia e dose do feixe de elétrons, massa do elétron e ângulo de inclinação da amostra.
D
Corrente e dose do feixe de íons, massa do elétron e sem ângulo de inclinação da amostra.
E
Corrente e dose do feixe de elétrons, massa do íon e sem ângulo de inclinação da amostra.