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Para processos tipo RIE de corrosão de Si em descargas assimétricas, qual dos eletrodos...

Para processos tipo RIE de corrosão de Si em descargas assimétricas, qual dos eletrodos é utilizado para fixar a lâmina?
A
De área maior.
B
De área menor.
C
Qualquer dos dois.
D
Depende da potência da descarga.
E
Depende da pressão do gás.