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Para processos tipo RIE de corrosão de Si em descargas...

Para processos tipo RIE de corrosão de Si em descargas assimétricas, qual dos eletrodos é utilizado para fixar a lâmina?

A
De área maior.

B
De área menor.

C
Qualquer dos dois.

D
Depende da potência da descarga.

E
Depende da pressão do gás.