Engenharia Elétrica e Engenharia Eletrônica Ciências dos Materiais

Maior seletividade em processos de corrosão de SiO2 em comparação com Si, é obtida com misturas de gases incluindo:
  • A. O2 e SF6
  • B. Cl2 e H2
  • C. Cl2 e Ar
  • D. CF4 e H2
  • E. SF6 e H2