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Que processos são utilizados para obter junções rasas (com profundidade menor que 50 nm...
1
Q700455
Teclas de Atalhos
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Ano:
2012
Banca:
FUNRIO Fundação de Apoio a Pesquisa, Ensino e Assistência - FUNRIO
Prova:
FUNRIO - CEITEC - Analista Operacional - Área Engenharia Elétrica - 2012
Que processos são utilizados para obter junções rasas (com profundidade menor que 50 nm) em Si do tipo n+?
A
Implantação de íons de
75
As
+
seguido de um recozimento térmico em forno rápido em temperatura em torno de 1000ºC.
B
Implantação de íons de
31
P
+
seguido de um recozimento térmico em forno rápido em temperatura em torno de 1000ºC.
C
Implantação de íons de
75
As
+
seguido de um recozimento térmico em forno rápido em temperatura em torno de 600ºC.
D
Implantação de íons de
75
As
+
seguido de um recozimento térmico em forno convencional em temperatura em torno de 600ºC.
E
Implantação de íons de
31
P
+
seguido de um recozimento térmico em forno convencional em temperatura em torno de 1000ºC.
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