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O estudo topográfico de varredura utiliza, para a geração de imagens, elétrons secundários produzidos por ionização da amostra e da camada metálica que a reveste. De acordo com Silveira (2011), em Técnicas de Microscopia Eletrônica Aplicadas às Ciências Biológicas, os parâmetros mais importantes para a formação de imagens no Microscópio Eletrônico de Varredura (MEV) são:
o diâmetro da sonda de varredura, o ângulo de divergência do feixe eletrônico e a corrente da sonda.
a corrente da sonda de varredura, a corrente do helmet e o ângulo de incidência do feixe eletrônico.
a cobertura metálica da amostra, a colimação do feixe eletrônico e a corrente do helmet.
o diâmetro da sonda de varredura e os ângulos de incidência e de convergência do feixe eletrônico.
a intensidade da corrente do helmet, a cobertura metálica da amostra e a colimação do feixe eletrônico.