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A elipsometria espectral pode ser utilizada para análise de...
A elipsometria espectral pode ser utilizada para análise de oxidação e corrosão em semicondutores. Assinale a alternativa
que descreve o princípio dessa técnica de análise.
A
O espectro de emissão de fótons característicos de átomos ionizados é uma elipse característica de cada elemento ou
substância.
B
Os elétrons arrancados da superfície de uma amostra descrevem uma trajetória elíptica característica.
C
Baseia-se a técnica na mudança de polarização da luz após a reflexão.
D
Baseia-se a técnica na análise de elétrons Auger por um analisador elíptico.
E
Baseia-se na absorção diferenciada da radiação polarizada em função da razão entre os eixos maior e menor de uma
elipse.