O que significa CD (Critical Dimension) in microlitografia?
Imagem de fundo

O que significa CD (Critical Dimension) in microlitografia?

O que significa CD (Critical Dimension) in microlitografia?

A
A menor linha da máscara litográfica.

B
A menor dimensão para fabricar um transistor MOS.

C
A menor dimensão definida por processo litográfico.

D
A menor espessura do fotorresiste.

E
A maior espessura do fotorresiste.